En vakuumbelægningsmaskine er en enhed, der afsætter metal tynde film på overfladen af et substrat. Dets grundlæggende arbejdsprincip er opdelt i tre trin: rengøring, fordampning og aflejring.
1. Rengøring
Inden fordampningsaflejring skal fordampningskammeret renses. Fordi der kan være oxider, fedt, støv og andre stoffer knyttet til overfladen af fordampningskammeret, vil disse påvirke filmens kvalitet. Rengøring bruger normalt kemiske eller fysiske metoder.
2. fordampning
Det ønskede materiale opvarmes over dets smeltepunkt, så det danner gasformige molekyler. De gasformige molekyler undslipper derefter i vakuumkammeret ind i fordampningskammeret. Denne proces kaldes fordampning. Temperaturen, trykket og fordampningshastigheden påvirker filmens sammensætning, struktur og egenskaber.
3. Deponering
De gasformige molekyler af materialet i fordampningskammeret kommer ind i reaktionskammeret gennem vakuumrøret, reagerer med det aktive materiale og afsætter derefter produktet på overfladen af substratet. Denne proces kaldes sedimentation. Temperaturen, trykket og afsætningshastigheden påvirker også filmens kvalitet og ydeevne.
2. Ansøgning
Vakuumbelægningsmaskiner er meget udbredt inden for materialevidenskab, optik, elektronik og andre områder.
1. Materialevidenskab
Vakuumbelægningsmaskiner kan fremstille tynde film af forskellige metaller, legeringer, oxider, silikater og andre materialer og er meget udbredt i belægninger, optiske film, optisk opbevaring, displays, transistorer og andre områder.
2. Optik
Vakuumbelægningsmaskinen kan fremstille metal- og legeringsfilm med høj reflektivitet og optiske film med specielle funktioner. Disse film kan bruges i solpaneler, højtydende elektronmikroskoper, aerogeler, UV/IR-sensorer, optiske filtre og andre områder.
3. Elektronik
Vakuumbelægningsmaskiner kan fremstille elektroniske materialer og mikroelektroniske enheder i nanoskala. Disse film kan bruges i nanotransistorer, magnetiske hukommelser, sensorer og andre felter.
Kort sagt kan vakuumbelægningsmaskinen ikke kun forberede forskellige tyndfilmsmaterialer, men også fremstille tyndfilm med specielle funktioner efter behov. I fremtiden vil vakuumbelægningsteknologi blive mere udbredt og fremmet.
Indlægstid: Mar-12-2024